红外光感测膜层制造方法

摘要

一种具热致变特性之红外线感测膜层制造方法，该红外线感测膜层系经图案化后系应用作为红外线感测元件，其主组成为V1－x－yWxSiyO2，系透过掺杂特定莫耳比例之钨离子(W6＋)及预定莫耳比例之矽离子(Si4＋)于一V0(OR)n溶液中以溶胶凝胶法制备并在还原气氛(reducing atmosphere)炉中持温锻烧制成，其中01。

主权项

一种红外线感测膜层制造方法，包含以下制程步骤：以溶胶凝胶法(sol－gel method)制备一溶胶，该溶胶之材料系为掺杂(doping)一特定莫耳比例钨离子(W6＋)及一预定莫耳比例矽离子(Si4＋)之一VO(OR)n溶液；旋转涂布该溶胶于一基板上形成一初镀(as－desposited)膜；及持温锻烧该初镀膜以制得该红外线感测膜层。