| 主权项 |
一种配线修补装置，用雷射化学气相沈积修补形成在基板上配线的缺陷部分，该装置包括：一雷射源单元，以放射一雷射线在该配线的该缺陷部分；复数个化学气相沈积气体单元，包括用以产生不同原料气体之第一化学气相沈积气体单元与第二化学气相沈积气体单元；复数个气体窗单元，包括从该等化学气相沈积气体单元产生的该等原料气体透过该气体窗单元提供至该配线的该照射部分之分别与该第一化学气相沈积气体单元与该第二化学气相沈积气体单元对应设置的第一气体窗单元与第二气体窗单元；以及复数个气体通道，包括连接该第一化学气相沈积气体单元与该第一气体窗单元的第一气体通道及连接该第二化学气相沈积气体单元与该第二气体窗单元的第二气体通道，其中于该第一化学气相沈积气体单元中一液体原料被提供且该液体原料被气化以提供原料气体于该第一气体窗单元，又其中，于该第二化学气相沈积气体单元中一固体原料被提供且该固体原料被昇华以提供原料气体于该第二气体窗单元，又，该气体窗单元的数目与该化学气相沈积气体单元相同，且该等化学气相沈积气体单元产生的原料气体提供到不同的该等气体窗。 |
