| 发明名称 |
METHODE, EINEN DÜNNEN POLYKRISTALLINEN SILIZIUMFILM HERZUSTELLEN UND ENTSPRECHENDER APPARAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69941285(D1) |
申请公布日期 |
2009.10.01 |
| 申请号 |
DE1999641285 |
申请日期 |
1999.10.18 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO. LTD. |
发明人 |
EBE, AKINORI;KURATANI, NAOTO;TAKAHASHI, EIJI |
| 分类号 |
C30B29/06;H01L21/205;C23C16/24;C23C16/505;C23C16/509;C23C16/52;H01L31/18;H05H1/00 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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