电浆辅助化学气相沉积设备

摘要

本创作系有关于一种电浆辅助化学气相沉积设备，包括：载入单元、输出单元、至少一反应单元、以及传输单元。其中，至少一反应单元各自独立地包括二个以上之电浆辅助化学气相沉积装置，且该电浆辅助化学气相沉积装置系互相堆叠而配置。。本创作之电浆辅助化学气相沉积装置，由于承载板为固定式之设计，因此反应腔下方机械体积可得到大幅减少，可使电浆辅助化学气相沉积装置整体厚度下降，可利用多出之空间堆叠多个处理腔进行批次制程，有效的大幅提升产能。

主权项

一种电浆辅助化学气相沉积设备，包括：一载入单元；一输出单元；至少一反应单元；以及一传输单元；其中，该载入单元、该输出单元、以及该反应单元系围绕该传输单元之周围而配置、或配置于该传输单元之一侧，并分别与该传输单元连接；该至少一反应单元各自独立地包括二个以上之电浆辅助化学气相沉积装置，且该二个以上之电浆辅助化学气相沉积装置系互相堆叠而配置。