| 发明名称 |
微小构造体之探针卡，微小构造体之检查装置，检查方法以及记录媒体 |
| 摘要 |
本发明提供一种具有可动部之微小构造体用之检查方法，其系不伤及探针或检查用电极，并藉由于探针与检查用电极之接触抑制针压的影响，执行精度高的检查。进行微小构造体之检查时，首先，令一对探针(2)接触各电极垫(PD)后，经由继电器(30)连接一对探针(2)及熔结用电源(50)。接着，由熔结用电源(50)向一对探针(2)对一方的探针(2)施加电压。然后，逐渐昇压，则由于熔结(fritting)现象而破坏一对探针(2)间的氧化膜，电流在一对探针(2)间流动，在探针(2)与电极垫(PD)间电性导通。接着，经由继电器(30)将一对探针(2)由熔结用电源(50)切换至测定部(40)侧，与测定部(40)电性结合。 |
| 申请公布号 |
TWI315403 |
申请公布日期 |
2009.10.01 |
| 申请号 |
TW095111634 |
申请日期 |
2006.03.31 |
| 申请人 |
ＯＣＴＥＣ股份有限公司 OCTEC INC. 日本;东京威力科创股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED 日本 |
发明人 |
奥村胜弥;八壁正巳;池内直树 |
| 分类号 |
G01R1/067;G01R31/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/067 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种微小构造体之检查装置，其特征系检查形成于基板上之具有可动部之至少一个微小构造体特性者，且包含：令上述微小构造体之检查用电极与探针接触的机构；及利用熔结现象令上述检查用电极与上述探针相互建立电性接触的导通机构。 |
| 地址 |
日本;日本 |
