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发明名称
Vorrichtung zum Erzeugen von Sekundärelektronen, insbesondere Sekundärelektrode und Beschleunigungselektrode
摘要
申请公布号
DE50311825(D1)
申请公布日期
2009.10.01
申请号
DE20035011825
申请日期
2003.11.12
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
KYEK, ANDREAS
分类号
H01J37/02;H01J37/05;H01J37/06;H01J43/02
主分类号
H01J37/02
代理机构
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