发明名称 Vorrichtung zum Erzeugen von Sekundärelektronen, insbesondere Sekundärelektrode und Beschleunigungselektrode
摘要
申请公布号 DE50311825(D1) 申请公布日期 2009.10.01
申请号 DE20035011825 申请日期 2003.11.12
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KYEK, ANDREAS
分类号 H01J37/02;H01J37/05;H01J37/06;H01J43/02 主分类号 H01J37/02
代理机构 代理人
主权项
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