脱水乾燥方法及装置，以及基板处理装置

摘要

一种脱水乾燥方法用以对一基材进行脱水和和乾燥。该运载机所搬运的基材并不需转动便可进行脱水和乾燥，而且该运载机可以在某些进行制程的装置之间操作搬运基材。

主权项

一种对基材进行脱水和乾燥之脱水乾燥方法，其包括：对一基材进行脱水和乾燥，而该基材系容纳于可用以搬运基材的一运载机中。