用于沈积系统之喷射室的驱动轴以及具有该驱动轴之沈积系统

摘要

用于一沈积系统的器具，其中包含一个用于密封驱动轴来防止沈积材料之密封用器具，用以防止沈积材料附着于该驱动轴，一个用于减少台架在该驱动轴上之重量的移动用器具，以及一个用于量测得到介于一台架与一相邻接物体中间之距离的防撞器具。

主权项

一种用于一沈积系统之驱动轴的密封用器具，其包含：一个台架，该台架包含：一个与一被安装于沈积系统之真空室内之驱动轴相耦合的耦合用部件，一个包含有一细缝部位的连接部件，该连接部件系被连结至该耦合用部件，以及一个与该连接部件相连结的支撑板，该支撑板则是被用来支撑住一个于真空室内排放出有机蒸气材料的喷射室；一个部份围绕住该驱动轴的中空梁，该中空梁系包含一个开放侧边，使得该支撑主体能够沿着该驱动轴而被移动；以及一个被配置成穿过该细缝部位的遮蔽用平板。