多关节机械手

摘要

本发明是提供防止源自上下移动轴的粉尘造成基板的污染，并且将让生产性提升之液晶用的玻璃基板或或半导体晶圆等之薄片状的工件搬进搬出储存柜之多关节机械手。该多关节机械手(1)是一种由载置搬送物之手部(8)、及与前述手部(8)相连结且具备至少2个以上的回转关节(3)、(4)、(5)并以朝向1个方向移动前述手部(8)的方式进行伸缩且以在轴方向上相对向的方式配置之多关节臂(2)、及将前述多关节臂(2)与向上下移动的移动机构(11)予以相连结之支撑构件(10)、及被装备在前述移动机构(11)之具有回旋功能之台座(13)所组成之多关节机械手(1)，前述移动机构(11)系与前述手部(8)的移动方向相同的方向配置在柱体(12)，被配置在前述移动机构(11)之支撑构件(10)则是朝向与前述手部(8)的移动方向成垂直的方向突出，与前述多关节臂(2)相连结。

主权项

一种多关节机械手，系由：载置搬送物之手部(8)、及与前述手部(8)相连结且具备至少2个以上的回转关节(3)(4)(5)并以朝向1个方向移动前述手部(8)的方式进行伸缩且以在上下方向相对向的方式配置之多关节臂(21)(22)、及使上下移动的方式将前述多关节臂(21)(22)与被安装在柱体(12)之向上下方向移动的移动机构(11)予以相连结之支撑构件(10)、及连结于前述柱体(12)的下端部且将被安装在前述柱体(12)的前述多关节臂(21)(22)回旋之台座(13)所组成之多关节机械手，其特征为：前述移动机构(11)，系与前述上腕(6)及前述前腕(7)完全伸展的伸展方向同方向地配置于前述柱体(12)，配置于前述移动机构(11)的支撑构件(10)，系向与前述上腕(6)及前述前腕(7)完全伸展的伸展方向垂直的方向且前述手部(8)的移动方向相对偏位，前述手部(8)，系与朝前述柱体(12)的前述台座(13)的安装面平行且与前述移动机构(11)的移动方向垂直地移动，当配置于前述支撑构件(10)的肩关节(3)的回转中心、与手部(8)的回转中心、与台座(13)的回转中心的位置关系，形成为进行移动来引进前述手部至前述上腕(6)及前述前腕(7)成为折叠的状态的回缩位置时，使一致于手部的前述上腕(6)及前述前腕(7)完全伸展的伸展方向及前述上腕(6)及前述前腕(7)成为折叠的状态的回缩方向的轴线上的方式，从前述伸展方向前方起依照前述肩关节(3)的回转中心、台座(13)的回转中心、手部(8)的回转中心的顺序来配置。