有机薄膜的浸润式微影溶解成分测定方法

摘要

本发明系提供一种有机薄膜的浸润式微影溶解成分测定方法，特别是在有机薄膜的表面，藉由使折射系数比空气大之规定液体介于中间之状态，来对有机薄膜进行曝光之浸润式曝光制程时，用以探索能够形成微细图案之有机薄膜组成物。先在已形成于基板12上之有机薄膜13的表面，载置浸润式微影用的浸润介质的液滴15，一边使该液滴15以等线速度在前述有机薄膜13的表面上移动，一边使前述有薄膜13中的成分往前述液滴15中移动，然后藉由测定前述液滴15中的渗出成分浓度，来测定有机薄膜组成物之浸润式微影适合性。若根据该测定方法，由于大幅度地提高有机薄膜13中之溶解成分的检测敏感度，所以能够确实地判断有机薄膜组成物之浸润式微影适合性。

主权项

一种有机薄膜的浸润式微影溶解成分测定方法，其系一种用以在浸润式曝光制程中，测定从光阻膜或设置在该光阻膜上之保护膜往浸润介质之渗出成分的浸润式微影溶解成分测定方法，其具有下述步骤：载置步骤，其系在已形成于基板上之有机薄膜的表面，载置浸润式微影用浸润介质的液滴，该有机薄膜系光阻膜或设置于该光阻膜上之保护膜的其中至少一种；移动步骤，其系使该有机薄膜中的成分移动至该液滴中；以及测定步骤，其系用以在该移动步骤后，测定渗出至该液滴中之成分的浓度；且该浸润介质是水、脂环族烃系介质、含有氟离子或氟化物离子之pH6以下的水溶液、含有铵离子之pH8以上的水溶液、氟系介质或矽系介质。