| 发明名称 |
Vertikales Boot für eine Wärmebehandlung und Wärmebehandlungsverfahren von Halbleiter-Wafern unter Verwendung desselben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112007002816(T5) |
申请公布日期 |
2009.10.01 |
| 申请号 |
DE200711002816T |
申请日期 |
2007.10.25 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO. LTD. |
发明人 |
KOBAYASHI, TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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