| 发明名称 | 一种制备四氟化硅的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种制备四氟化硅的方法，包括：a)将含NaAlF<sub>4</sub>原料粉末和Si源粉末混合；b)将步骤a)得到的混合物与硫酸加热至240℃～350℃反应得到四氟化硅。本发明以含NaAlF<sub>4</sub>粉末作为原料与Si源和硫酸在加热的条件下进行反应生成四氟化硅，与现有技术相比，不但可以避免使用大量的萤石作为原料生成四氟化硅，降低生产成本，而且可以有效利用在硅烷生产的过程中产生的副产物NaAlF<sub>4</sub>，并以高的转化率制备出四氟化硅。 | ||
| 申请公布号 | CN101544374A | 申请公布日期 | 2009.09.30 |
| 申请号 | CN200910127244.5 | 申请日期 | 2009.03.12 |
| 申请人 | 六九硅业有限公司 | 发明人 | 张月和;薛明;李青娟;蔡春立;王伟 |
| 分类号 | C01B33/107(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/107(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 1、一种制备四氟化硅的方法，包括：a)将含NaAlF4原料粉末和Si源粉末混合；b)将步骤a)得到的混合物与硫酸加热至240℃～350℃反应得到四氟化硅。 | ||
| 地址 | 071051河北省保定市乐凯北大街333号 | ||