用于形成微型图案的模具的树脂组合物及由其制备有机模具的方法

摘要

一种用于形成微型图案的模具的树脂组合物，该组合物包含(A)40至90重量份具有反应基团的可通过活性能量固化的基于氨基甲酸酯的低聚物；(B)10至60重量份可与所述基于氨基甲酸酯的低聚物反应的活性单体；(C)0.01至200重量份基于100重量份组分(A)、(B)之和的含有硅氧烷或氟的化合物；和(D)0.1至10重量份基于100重量份组分(A)、(B)和(C)之和的光敏引发剂。本发明的树脂组合物可容易地通过活性能量射线的作用固化，而由此制备的有机模具没有不可逆的粘结物或产生缺陷，容易从母体模具上取下，并具有优异的尺寸和化学稳定性。

主权项

1.一种用于形成微型图案的有机模具，由树脂组合物组成，该树脂组合物包含：(A)40至90重量份具有可通过活性能量固化的含至少两个反应基团的基于氨基甲酸酯的低聚物，该低聚物具有选自以下组中的反应基团：(甲基)丙烯酸酯基、乙烯基醚基、芳基醚基、以及它们的组合；(B)10至60重量份可与所述基于氨基甲酸酯的低聚物反应的单体，该单体选自以下组中：(甲基)丙烯酸酯、乙烯基醚、芳基醚、以及它们的组合；(C)含有硅氧烷或氟的化合物，其中，该含有硅氧烷或氟的化合物选自以下组中的成分：(i)含硅氧烷基团的反应性单体或低聚物；(ii)含有氟基的反应性单体或低聚物；(iii)含硅氧烷或氟的树脂；(iv)含硅氧烷或氟的表面活性剂或油；及它们的混合物；并且，以100重量份组分(A)、(B)之和为基准，在成分(i)至(iii)的情况下，(C)的量是5至200重量份，在成分(iv)的情况下，(C)的量为0.01至5重量份；和(D)以100重量份组分(A)、(B)和(C)之和为基准0.1至10重量份的光敏引发剂。