具有辅助边缘磁体的矩形磁控管

摘要

本发明公开一种用于在平面板上溅射的磁控管(80)，其包括主磁控管，所述主磁控管为大致矩形形状并具有沿着一组边缘的线性部分和沿着另一组的弯曲部分。具有与外极的磁极性相反的某种磁极性的辅助磁体(86，88，100)放置在弯曲部分的外部以从弯曲部分抽出磁场，并减少靶过度蚀刻造成的热斑。辅助磁体可以是局部或者完全沿着主磁控管的弯曲部分延伸的磁控管，并且比主磁控管弱。

主权项

1. 一种用在等离子体溅射系统中的磁控管组件，包括：主磁控管，其大体上布置在矩形轮廓内，所述矩形轮廓具有两个相对的第一边和两个垂直于所述第一边的相对的第二边，所述主磁控管包括至少一个具有第一磁极性的第一磁极和至少一个具有与所述第一磁极性相反的第二磁极性的第二磁极，所述第二磁极包围相应的所述第一磁极并被相应的间隙与所述第一磁极分开，所述间隙以闭合的环状在平行于所述第一边的第一线性部分和与所述第二边相邻的弯曲部分中延伸；以及辅助磁体组件，其包括具有所述第一磁极性的部分，该部分布置在所述主磁控管的与所述间隙的所述弯曲部分相邻的外部。