| 发明名称 | 工件的截断方法和装置、划线和截断方法、以及带截断功能的划线装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种当截断刻有分划线的工件时能够防止在工件的背面因摩擦而发生碎裂的工件的截断方法。本发明的工件(5)的截断方法包括：工件粘合工序，将工件(5)的背面粘贴到可伸缩的薄片(9)上；薄片拉伸工序，拉伸粘贴有工件(5)的薄片(9)；以及工件截断工序，在拉伸薄片(9)的状态下，使分划线(5c)到达工件(5)的背面。由于在薄片(9)的拉伸力的作用下，工件(5)被截断的同时工件(5)被拉开，因而被截断的工件(5)的摩擦减少，能够防止在背面发生碎裂。并且，通过向工件(5)施加拉伸力，拉伸力辅助工件的截断，因此能够以更小的力截断工件(5)。 | ||
| 申请公布号 | CN100546004C | 申请公布日期 | 2009.09.30 |
| 申请号 | CN200580045971.7 | 申请日期 | 2005.12.27 |
| 申请人 | THK株式会社;株式会社贝尔德克斯 | 发明人 | 中泽东治;下土敬由;星野京延;三户雅德;羽生明夫;河野贵哉;宍户善明 |
| 分类号 | H01L21/301(2006.01)I;C03B33/033(2006.01)I;C03B33/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/301(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李贵亮 |
| 主权项 | 1.一种工件的截断方法，将表面刻有分划线的工件沿着分划线截断，其特征在于，包括：工件粘合工序，将所述工件的背面粘贴到可伸缩的薄片上；薄片拉伸工序，通过薄片拉伸单元来拉伸粘贴有所述工件的所述薄片；框架部件粘贴工序，在通过所述薄片拉伸单元拉伸了所述薄片的状态下，将框架部件粘贴在所述薄片上并在所述工件的周围空出间隙，从而将所述薄片的拉力锁在所述框架部件内；以及工件截断工序，在将所述薄片的拉力锁在所述框架部件内的状态下，使所述分划线到达所述工件的背面；其中，被截断的所述工件通过所述薄片的拉伸力而分离。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||