三轴位移平台

摘要

本发明公开了一种三轴位移平台，包含一第一轴线性装置、一第二轴线性装置、一第三轴线性装置、一支撑架及一配重件；其中，三轴位移平台由第一轴线性装置、第二轴线性装置、支撑架及第三轴线性装置重迭组设而成，缩小三轴位移平台的组装空间，且配重件重迭组设于支撑架上平衡重量，进而提升位移精度。

主权项

1、一种三轴位移平台；其特征在于，包含：一第一轴线性装置，用于X轴向位移；一第二轴线性装置，用于Y轴向位移，所述第二轴线性装置重迭组设于所述第一轴线性装置上随之进行X轴向位移，所述第二轴线性装置动作方向与所述第一轴线性模块动作方向相交；一支撑架，一侧重迭组设于所述第二轴线性装置上随之进行Y轴向位移；一第三轴线性装置，用于Z轴向位移，所述第三轴线性装置重迭组设于所述支撑架的另一侧上随之进行Y轴向位移，所述第三轴线性装置动作方向与所述第一轴线性模块及所述第二轴线性模块的动作方向相交；以及一配重件，设置于所述支撑架上作重量平衡。