用于电学量原位测量的金刚石对顶砧及其制作方法

摘要

本发明的用于电学量原位测量的金刚石对顶砧及其制作方法属于高温高压装置的技术领域。在金刚石压砧的砧面和侧面顺次沉积氧化铝绝热层1、2～4条相互绝缘的电极4、氧化铝保护层6；每条电极4的分布是自金刚石压砧的砧面到侧面，电极4在砧面的端头裸露，并且位置在金刚石对顶砧的样品腔3内，电极4在侧面的端头裸露，并且接有电极引线5。氧化铝绝热层1、电极4、保护层6依次利用薄膜沉积技术和光刻手段集成到金刚石压砧上。本发明设计的绝热层和电极，有效的防止了热量的散失，显著减小了样品腔内的温度梯度，从而实现高温高压下电学量的测量，并使测量准确性得到保证。

主权项

1、一种用于电学量原位测量的金刚石对顶砧，由两颗金刚石压砧组成，其特征在于，其中一颗金刚石压砧的砧面和侧面沉积氧化铝绝热层(1)；另一颗金刚石压砧的砧面和侧面顺次沉积氧化铝绝热层(1)、2～4条相互绝缘的电极(4)、氧化铝保护层(6)；每条电极(4)的分布是自金刚石压砧的砧面到侧面，电极(4)在砧面的端头裸露，并且位置在金刚石对顶砧的样品腔(3)内，电极(4)在侧面的端头裸露，并且接有电极引线(5)。