压力传感器及其制造方法

摘要

本发明提供压力传感器及其制造方法，该压力传感器具有在内部不使用作为承压介质的油的结构，其目的是提高压力传感器的测量精度。压力传感器(1)具有：收纳后述各构件的壳体(4)，其内部为真空且具有对置配置的第一压力输入口(2)和第二压力输入口(3)；第一膜片(5)，其配置在第一压力输入口的前端部，并对应于作为测量对象的液体的压力而弯曲；第一轴(6)，其一端在相对于第一膜片垂直的方向上连接在第一膜片上；波纹管(7)，其配置于第二压力输入口，大气侧的压力被施加到该波纹管；悬臂(8)，在其一端(8a)上连接有第一轴的另一端和波纹管的另一端；和压敏元件(10)，其配置在悬臂(8)的另一端(8b)和固定部件(9)之间。

主权项

1. 一种压力传感器，其特征在于，上述压力传感器具有：壳体；安装部，其具有与该壳体内部连通的压力输入口；膜片，其封闭该安装部的压力输入口的开口部，该膜片的外表面是承压面；力传递部件，其端部相对于上述承压用膜片的承压面的相反侧的主面大致垂直地连接；摆动臂，其与上述力传递部件接合，并且以枢轴部为支点保持在固定部件上；以及压敏元件，其一端连接在上述固定部件上，并且另一端连接在上述摆动臂上，而且该压敏元件配置成使连接上述一端和上述另一端的方向与上述力传递部件的移位方向为同一方向，上述壳体在内部收纳有上述力传递部件、上述摆动臂、上述压敏元件和上述固定部件，上述固定部件固定在上述壳体的内壁上。