用于有机材料的压力计

摘要

本发明提供一种用于测量在形成一设备的一层的过程中使用的气化的有机或无机材料的压力的皮拉尼型真空计，它包括：延长的长丝，其长丝具有5微米或更小的厚度且具有大于0.0035/℃的电阻温度系数，该长丝暴露于气化的有机或无机材料；用于将电流施加至长丝使得长丝的温度小于650℃从而使有机材料的分子结构不退化的装置；和响应电阻的改变或电流的改变以判定自该长丝的热损失的装置，其中热损失为气化的有机或无机材料的压力的函数。

主权项

1. 一种用于测量在形成设备的层的过程中所使用的气化的有机或无机材料的压力的皮拉尼型真空计，它包括：a)延长的长丝，所述长丝具有5微米或更小的厚度且具有大于0.0035/℃的电阻温度系数，所述长丝暴露于气化的有机或无机材料；b)用于将电流施加至所述长丝使得所述长丝的温度小于650℃从而使所述有机材料的分子结构不退化的装置；以及c)响应于电阻的改变或电流的改变以确定自所述长丝的热损失的装置，其中，所述热损失为气化的有机或无机材料的压力的函数。