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发明名称
摘要
申请公布号 JP4337896(B2) 申请公布日期 2009.09.30
申请号 JP20070073316 申请日期 2007.03.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/08 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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