| 发明名称 | 等离子体处理装置、腔室内部件以及腔室内部件的寿命检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够精确地检测腔室内部件的寿命，并能够防止由交换没有达到寿命的部件而引起的浪费、以及由于继续使用已经过寿命的部件而引起故障的发生的腔室内部件。用于等离子体处理装置的聚焦环(26)等的腔室内部件，使用组装有该腔室内部件的基板处理装置(10)对晶片(W)进行RIE处理，其中，该腔室内部件由与构成材料不同的元素、例如钪(Sc)构成的寿命检测元素层(51、52)，利用等离子体发光分光器(46)对处理气体中的发光光谱进行监视，通过检测由寿命检测元素层(51、52)引起的光谱来检测聚焦环(26)等的腔室内部件的寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN101546705A | 申请公布日期 | 2009.09.30 |
| 申请号 | CN200910009403.1 | 申请日期 | 2009.02.23 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 中山博之;守屋刚 |
| 分类号 | H01L21/3065(2006.01)I;G01N21/66(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | 1. 一种腔室内部件，其用于等离子体处理装置，其特征在于：至少埋设有一层由与构成材料不同的元素构成的寿命检测元素层。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||