| 发明名称 | 基板载台 | ||
| 摘要 | 本发明一种基板载台，包含有：一壳体以及至少一基板，该壳体设有一开口，该壳体内部设有一以上的电极板，该电极板的至少一侧上方设有至少一限位件，下方设有至少一滑动件；至少一基板可通过该开口，而置于该限位件与该滑动件之间且贴合于一该电极板的一侧。通过本发明的设计可以方便基板置于载台中，使动作流程更为简便，并可同时置入多片基板，不仅节省机具的空间，更减少制作成本及时间的耗费。 | ||
| 申请公布号 | CN101545102A | 申请公布日期 | 2009.09.30 |
| 申请号 | CN200810086288.3 | 申请日期 | 2008.03.25 |
| 申请人 | 东捷科技股份有限公司 | 发明人 | 黄明鸿;叶公旭;杨正安;何建立 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/54(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 1. 一种基板载台，其特征在于，包含有：一壳体，设有一开口，该壳体内部设有一以上的电极板，该电极板的至少一侧上方设有至少一限位件，下方设有至少一滑动件；至少一基板可通过该开口，而置于该限位件与该滑动件之间且贴合于一该电极板的一侧。 | ||
| 地址 | 台湾省台南县 | ||