一种采用叶盘转子的小型分子泵

摘要

对小型分子泵的转子结构进行了改进，使转子顶面多了几层由内而外的动叶片(一般为1-3层)，呈垂直顶面向上辐射状，带螺旋槽的部分为高速旋转的霍尔维克转子，其顶上半径最小的为第一级动叶片，半径最大的为第三级动叶片，中间的为第二级动叶片。第三级动叶片部分在顶面内部垂直顶面，部分外伸出顶面，为悬臂结构。外伸部分的动叶片向下延伸，延伸高度大于在顶端内部的动叶片；顶盖静叶盘上的叶片为两级级静叶片，翻过来插在动叶片之间，总共构成五级抽气结构，以提高分子泵的抽速。

主权项

1.一种小型分子泵，其中在转子顶面向下加工出垂直顶面的动叶片，动叶片跟直径方向成一定角度，这种转子称为叶盘转子，叶盘转子上方与之搭配的零件是顶盖静叶盘，顶盖静叶盘通过泵壳支撑在转子上面，顶盖静叶盘的下半部分为静叶片，静叶片与直径方向成一定角度，静叶片与动叶片存在装配关系：静叶片从自上而下插在动叶片的径向间隔中间，动静叶片之间没有相互接触，在直径方向上交叉存在，通过调节泵壳的高度来调整静叶片插入动叶片的深度。