| 发明名称 | 新型微尖端面阵列器件 | ||
| 摘要 | 本发明涉及扫描隧道显微镜技术领域，特别是一种新型微尖端面阵列器件。由夹持框架(1)、支撑膜(2)、悬臂梁(3)微尖端(7)四个部分组成。夹持框架(1)用于夹持整个器件使之与外部系统结合并为整个器件结构提供保护；支撑膜(2)用于支撑悬臂梁结构与导线(4)和内焊盘(5)；悬臂梁(3)单元采用顺序平铺的方式构成平面阵列；微尖端(6)由金属电镀生成。 | ||
| 申请公布号 | CN100545951C | 申请公布日期 | 2009.09.30 |
| 申请号 | CN200510012172.1 | 申请日期 | 2005.07.14 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 焦斌斌;陈大鹏;欧毅;叶甜春 |
| 分类号 | G12B21/04(2006.01)I;G01N13/12(2006.01)I | 主分类号 | G12B21/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 段成云 |
| 主权项 | 1.一种微尖端面阵列器件，由夹持框架(1)、支撑膜(2)、悬臂梁(3)和微尖端(7)四个部分组成，夹持框架(1)用于夹持整个器件使之与外部系统结合并为整个器件结构提供保护，其上拥有外焊盘(8)，外焊盘(8)用于与外围电路相连，支撑膜(2)用于支撑悬臂梁结构与导线(4)和内焊盘(5)，内焊盘(5)与外焊盘(8)之间依靠引线键合工艺通过金线(7)连接，悬臂梁(3)单元采用顺序平铺的方式构成平面阵列，微尖端(6)由金属电镀生成。 | ||
| 地址 | 100029北京市朝阳区北土城西路3号 | ||