| 发明名称 | 加速度传感器装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种加速度传感器装置，可防止锤部、梁部和压电电阻元件的破损以及特性变化，可提高加速度传感器装置的可靠性。加速度传感器装置包括：具有锤部(11)、在该锤部(11)的周围具有间隔地配置的底座部(12)、挠性连接锤部(11)和底座部(12)的多个梁部(13)的加速度传感器芯片(10)；为了限制锤部(11)的变位而设置在加速度传感器芯片(10)上的限位板(20)。限位板(20)在与梁部(13)相对的位置具有凹部(25)，所以能不对梁部(13)带来冲击地限制锤部(11)的变位。 | ||
| 申请公布号 | CN101545920A | 申请公布日期 | 2009.09.30 |
| 申请号 | CN200910005618.6 | 申请日期 | 2009.01.20 |
| 申请人 | OKI半导体株式会社 | 发明人 | 野村昭彦;加藤健二 |
| 分类号 | G01P15/08(2006.01)I;G01P15/12(2006.01)I;G01P15/18(2006.01)I;H01L27/20(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 雒运朴;李 伟 |
| 主权项 | 1. 一种加速度传感器装置，其特征在于，包括：加速度传感器芯片，具有锤部、在所述锤部的周围与该锤部具有间隔地配置的底座部、挠性连接所述锤部和所述底座部的多个梁部；以及限位板，设置在所述加速度传感器芯片上，以限制所述锤部的变位；所述限位板在与所述梁部相对的位置具有凹部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||