发明名称 |
低维纳米材料显微结构与电学性能测试装置和方法 |
摘要 |
本发明涉及低维纳米材料显微结构与电学性能的测试装置和方法。该装置在衬底的上方是非晶层,下方是阻挡层,阻挡层和衬底的中间部分被刻蚀掉形成窗口,在非晶层上是金属电极,金属电极之间是低维纳米材料,低维纳米材料位于非晶层上对着窗口的正上方,低维纳米材料上是非晶阻挡层,金属电极上引出导线。本发明提供了一种转移、固定低维纳米材料的方法,可以同时对低维纳米材料进行通电测量,可以在原子点阵分辨率下,原位地测量低维纳米材料的显微结构与电学性能的相关性。 |
申请公布号 |
CN101545872A |
申请公布日期 |
2009.09.30 |
申请号 |
CN200910084260.0 |
申请日期 |
2009.05.15 |
申请人 |
北京工业大学 |
发明人 |
韩晓东;刘攀;张泽 |
分类号 |
G01N23/04(2006.01)I;G01N27/00(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01N23/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京思海天达知识产权代理有限公司 |
代理人 |
刘 萍 |
主权项 |
1、一种低维纳米材料显微结构与电学性能测试装置,其特征在于:在衬底的上方是非晶层,下方是阻挡层,阻挡层和衬底的中间部分被刻蚀掉形成窗口,在非晶层上是金属电极,金属电极之间是低维纳米材料,低维纳米材料位于非晶层上对着窗口的正上方,低维纳米材料上是非晶阻挡层,金属电极上引出导线。 |
地址 |
100124北京市朝阳区平乐园100号 |