发明名称 低维纳米材料显微结构与电学性能测试装置和方法
摘要 本发明涉及低维纳米材料显微结构与电学性能的测试装置和方法。该装置在衬底的上方是非晶层,下方是阻挡层,阻挡层和衬底的中间部分被刻蚀掉形成窗口,在非晶层上是金属电极,金属电极之间是低维纳米材料,低维纳米材料位于非晶层上对着窗口的正上方,低维纳米材料上是非晶阻挡层,金属电极上引出导线。本发明提供了一种转移、固定低维纳米材料的方法,可以同时对低维纳米材料进行通电测量,可以在原子点阵分辨率下,原位地测量低维纳米材料的显微结构与电学性能的相关性。
申请公布号 CN101545872A 申请公布日期 2009.09.30
申请号 CN200910084260.0 申请日期 2009.05.15
申请人 北京工业大学 发明人 韩晓东;刘攀;张泽
分类号 G01N23/04(2006.01)I;G01N27/00(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I 主分类号 G01N23/04(2006.01)I
代理机构 北京思海天达知识产权代理有限公司 代理人 刘 萍
主权项 1、一种低维纳米材料显微结构与电学性能测试装置,其特征在于:在衬底的上方是非晶层,下方是阻挡层,阻挡层和衬底的中间部分被刻蚀掉形成窗口,在非晶层上是金属电极,金属电极之间是低维纳米材料,低维纳米材料位于非晶层上对着窗口的正上方,低维纳米材料上是非晶阻挡层,金属电极上引出导线。
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