具有电极排列的基板卡匣

摘要

一种具有电极排列的基板卡匣，包含有：一架体，底部具有一导电块，该导电块具有复数第一槽以及复数第二槽彼此平行且交替设置；该架体顶部具有复数固定件，每一第二槽内设有绝缘件；复数第一电极板；复数第二电极板；以及复数支撑件，设置于各该第一电极板的底段两面，以及设置于各该第二电极板的底段两面，该些支撑件与该些固定件上下相对且形成一限制空间可供基板置入于其间，该些支撑件即承接该些基板。由此，其内部的电极排列适合多个基板置入，并可承载多片基板，适用于化学气相沉积工艺。

主权项

1、一种具有电极排列的基板卡匣，用以承接复数基板，该基板卡匣包含有：一架体，底部具有至少一导电块，该导电块具有复数第一槽以及复数第二槽彼此平行，且第一槽与第二槽相隔预定距离交替设置；该架体顶部具有复数固定件，对应位于该些第一槽以及第二槽的上方，其中每一第二槽内设有绝缘件；复数第一电极板，分别以底缘嵌置于该些第一槽，且顶缘固定于对应的该些固定件；复数第二电极板，分别以底缘固定于该些绝缘件，且顶缘固定于对应的该些固定件；以及复数支撑件，设置于各该第一电极板的底段两面，以及设置于各该第二电极板的底段两面，该些支撑件与该些固定件上下相对且形成一限制空间可供基板置入于其间，该些支撑件即承接该些基板。