OXIDIZATION METHOD AND OXIDIZATION APPARATUS FOR OBJECT TO BE PROCESSED,申请号KR20050015677-传众专利搜索

发明名称	OXIDIZATION METHOD AND OXIDIZATION APPARATUS FOR OBJECT TO BE PROCESSED
摘要
申请公布号	KR100919076(B1)	申请公布日期	2009.09.28
申请号	KR20050015677	申请日期	2005.02.25
申请人		发明人
分类号	H01L21/283;H01L21/316;B05C11/00;C23C16/00;H01L21/00;H01L21/31;H01L21/768;H01L23/522	主分类号	H01L21/283
代理机构		代理人
主权项
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