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发明名称
Metal wiring in a semiconductor device and method of forming the same
摘要
申请公布号
KR100919378(B1)
申请公布日期
2009.09.25
申请号
KR20020065752
申请日期
2002.10.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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