Diffraktives Element mit hoher Wellenfrontebenheit

摘要

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Realisierung eines diffraktiven Elements mit hoher Wellenfrontebenheit. Das diffraktive Element besitzt ein flächiges Funktionssubstrat mit einer ersten nstruktur angeordnet ist, und wobei das Funktionssubstrat mit seiner ersten Seite auf einem flächigen Trägersubstrat angeordnet ist, wobei das Trägersubstrat eine höhere Steifigkeit als das Funktionssubstrat aufweist.