| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Transportieren von flachem Transportgut, insbesondere von Substraten (3) wie Siliziumwafer und Solarzellen, auf mindestens einem Transportband (2) eines Transportbandsystems (1), bei dem die Substrate (3) auf einer Transportfläche (5) des Transportbandes (2) mindestens taktweise während des Transports angesaugt gehalten werden. Um für einen verbesserten rutschfesten und schonenden Transport der Substrate (3) auf dem Transportband (2) zu sorgen, wird erfindungsgemäß entlang mindestens einer der beiden in Transportrichtung verlaufenden Längskanten (7) des Bandriemens (8) des Transportbandes (2) an einer Vielzahl zueinander beabstandeter Positionen (9) mittels einer durch ein Strömungssystem (4) gesteuerten Führung eines Druckfluidums (11) wie Druckluft jeweils ein auf dem Bernoulli-Effekt basierender Unterdruck erzeugt und die Substrate (3) werden durch die an der jeweiligen Position (9) an der Längskante des Bandriemens gebildete Druckdifferenz zwischen dem atmosphärischen Druck und dem an der jeweiligen Position (9) erzeugten Unterdruck auf der Transportfläche (5) des Transportbandes (2) mit der Auflagefläche gleichmäßig angedrückt gehalten.</p> |
