| 发明名称 |
Verfahren zur Bearbeitung von Material von Material durch Schwerionenbestrahlung und nachfolgenden Äatzprozess |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112007003099(A5) |
申请公布日期 |
2009.09.24 |
| 申请号 |
DE200711003099T |
申请日期 |
2007.10.15 |
| 申请人 |
IST - IONEN STRAHL TECHNOLOGIE - GMBH |
发明人 |
DANZIGER, MANFRED |
| 分类号 |
C23C14/02;C23C18/22;H05K3/00;H05K3/38 |
主分类号 |
C23C14/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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