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发明名称 ABTAST-ELEKTRONENMIKROSKOP
摘要
申请公布号 DE60042758(D1) 申请公布日期 2009.09.24
申请号 DE20006042758 申请日期 2000.03.31
申请人 HITACHI LTD. 发明人 TODOKORO, HIDEO;EZUMI, MAKOTO;OSE, YOICHI;SUZUKI, NAOMASA
分类号 H01J37/22;G01Q30/02;H01J37/244;H01J37/28 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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