Sensorbaustein

摘要

Es wird ein Sensorbaustein offenbart. Eine Ausführungsform stellt ein Sensorbauelement mit einem Träger, einem auf dem Träger montierten Halbleitersensor und einer aktiven Oberfläche bereit. Kontaktelemente verbinden den Träger elektrisch mit dem Halbleitersensor. Eine aus einem anorganischen Material hergestellte Schutzschicht bedeckt mindestens die aktive Oberfläche und die Kontaktelemente.