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发明名称 Bearbeitungssystem, Bearbeitungsverfahren und Speichermedium
摘要
申请公布号 DE112007002728(T5) 申请公布日期 2009.09.24
申请号 DE20071102728T 申请日期 2007.11.12
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 AMANO, YOSHIFUMI
分类号 H01L21/304;B08B3/04;H01L21/027 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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