Vorrichtung und Methode zur Herstellung von Barriereschichten für Metalle sowie Vorrichtung und Methode zur Herstellung von Metallschichten,申请号DE20026033268-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung und Methode zur Herstellung von Barriereschichten für Metalle sowie Vorrichtung und Methode zur Herstellung von Metallschichten
摘要
申请公布号	DE60233268(D1)	申请公布日期	2009.09.17
申请号	DE20026033268	申请日期	2002.10.28
申请人	CANON ANELVA CORP.	发明人	SAKAMOTO, HITOSHI;YAHATA, NAOKI;MATSUDA, RYUICHI;OOBA, YOSHIYUKI;NISHIMORI, TOSHIHIKO
分类号	C23C14/00;H01L21/28;C23C8/36;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C16/34;C23C16/448;C23C16/452;C23C16/507;C23C16/56;C23C28/00;C23C28/02;C23C30/00;H01L21/768	主分类号	C23C14/00
代理机构		代理人
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