发明名称 AUFBRINGEN EINES BESCHICHTUNGSMATERIALS AUF EIN SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE60328680(D1) 申请公布日期 2009.09.17
申请号 DE20036028680 申请日期 2003.05.30
申请人 SURFACE INNOVATIONS LTD. 发明人 WARD, LUKE
分类号 B05B1/02;B05B5/00;B05D7/24;C03C17/00;H01L21/00 主分类号 B05B1/02
代理机构 代理人
主权项
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