| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Ionisator, ein System zur Entfernung statischer Aufladung, ein Verfahren zum Einstellen eines Ionengleichgewichts und ein Verfahren zum Entfernen statischer Aufladung von einem Werkstück. In einem Ionisator (10, 10A-10D) wird, wenn positive und negative Spannungen auf eine Elektrode (46) aufgebracht werden, eine Amplitude Vm der negativen Spannung kleiner gewählt als eine Amplitude Vp der positiven Spannung (Vp > Vm). Außerdem wird die Zeit Tm, in welcher die negative Spannung auf die Elektrode (46) aufgebracht wird, länger gewählt als die Zeit Tp, in welcher die positive Spannung hierauf aufgebracht wird (Tp < Tm).</p> |
