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发明名称 Vorrichtung zum Testen von integrierten Schaltungselementen
摘要
申请公布号 DE19854697(B4) 申请公布日期 2009.09.17
申请号 DE19981054697 申请日期 1998.11.26
申请人 MICRON TECHNOLOGY INC. 发明人 PACE, BRADLEY D.;SEIDEL, DURBIN L.;LAWRENCE, WILLIAM RICHARD
分类号 G01R31/26;G01M11/00;G01R31/28;G01R31/311;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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