| 发明名称 | 含有氨基苯磺酸的半水性溶脱和清洗组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于除去高度交联的抗蚀剂和蚀刻残留物的半水性组合物及其使用方法。该组合物包含氨基苯磺酸、可与水混溶的有机溶剂和水。 | ||
| 申请公布号 | CN101531950A | 申请公布日期 | 2009.09.16 |
| 申请号 | CN200910128161.8 | 申请日期 | 2009.03.12 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | M·I·埃格比;M·W·莱格恩扎;D·L·德拉姆 |
| 分类号 | C11D1/22(2006.01)I;C11D3/43(2006.01)I;C11D3/44(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | C11D1/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 陈文平;徐志明 |
| 主权项 | 1、一种半水性溶脱和清洗组合物，包含：a. 0.5％至10％的氨基苯磺酸或其对应的盐，b. 30％至90％的可与水混溶的有机溶剂，和c. 5％至70％的水；其中该组合物的pH值为6-11。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||