发明名称 |
调节螺旋真空泵温度的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种用于调节螺旋真空泵(1)的汲取腔外壳(2)温度的方法,所述螺旋真空泵包括两个设置在外壳(2)内部的转子(3),其中一冷却剂流用于调节外壳(2)的温度,所述冷却剂流的温度根据传感器(27、28、29)这样控制,使得在泵的不同的热载荷的情况下,在转子(3)和汲取腔外壳(2)之间的间隙(4)保持基本上恒定,其特征为:用于汲取腔外壳(2)的冷却剂流是由风扇(21)产生的气流,所述气流从外部绕流过汲取腔外壳(2)。此外,本发明涉及一种用于实施调节螺旋真空泵(1)的汲取腔外壳(2)温度的方法的螺旋真空泵。 |
申请公布号 |
CN101532492A |
申请公布日期 |
2009.09.16 |
申请号 |
CN200910129838.X |
申请日期 |
2002.10.30 |
申请人 |
奥林肯莱博尔德真空技术有限责任公司 |
发明人 |
哈特穆特·克里恩;克劳斯·罗法尔;曼弗雷德·贝林 |
分类号 |
F04C18/16(2006.01)I;F04C29/04(2006.01)I |
主分类号 |
F04C18/16(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
张兆东 |
主权项 |
1. 用于调节螺旋真空泵(1)的汲取腔外壳(2)温度的方法,所述螺旋真空泵包括两个设置在外壳(2)内部的转子(3),其中一冷却剂流用于调节外壳(2)的温度,所述冷却剂流的温度根据传感器(27、28、29)这样地控制,使得在泵(1)的不同的热载荷的情况下,在转子(3)和汲取腔外壳(2)之间的间隙(4)保持基本上恒定,其特征为:用于汲取腔外壳(2)的冷却剂流是由风扇(21)产生的气流,所述气流从外部绕流过汲取腔外壳(2)。 |
地址 |
德国科隆 |