发明名称 调节螺旋真空泵温度的方法
摘要 本发明涉及一种用于调节螺旋真空泵(1)的汲取腔外壳(2)温度的方法,所述螺旋真空泵包括两个设置在外壳(2)内部的转子(3),其中一冷却剂流用于调节外壳(2)的温度,所述冷却剂流的温度根据传感器(27、28、29)这样控制,使得在泵的不同的热载荷的情况下,在转子(3)和汲取腔外壳(2)之间的间隙(4)保持基本上恒定,其特征为:用于汲取腔外壳(2)的冷却剂流是由风扇(21)产生的气流,所述气流从外部绕流过汲取腔外壳(2)。此外,本发明涉及一种用于实施调节螺旋真空泵(1)的汲取腔外壳(2)温度的方法的螺旋真空泵。
申请公布号 CN101532492A 申请公布日期 2009.09.16
申请号 CN200910129838.X 申请日期 2002.10.30
申请人 奥林肯莱博尔德真空技术有限责任公司 发明人 哈特穆特·克里恩;克劳斯·罗法尔;曼弗雷德·贝林
分类号 F04C18/16(2006.01)I;F04C29/04(2006.01)I 主分类号 F04C18/16(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 张兆东
主权项 1. 用于调节螺旋真空泵(1)的汲取腔外壳(2)温度的方法,所述螺旋真空泵包括两个设置在外壳(2)内部的转子(3),其中一冷却剂流用于调节外壳(2)的温度,所述冷却剂流的温度根据传感器(27、28、29)这样地控制,使得在泵(1)的不同的热载荷的情况下,在转子(3)和汲取腔外壳(2)之间的间隙(4)保持基本上恒定,其特征为:用于汲取腔外壳(2)的冷却剂流是由风扇(21)产生的气流,所述气流从外部绕流过汲取腔外壳(2)。
地址 德国科隆