| 发明名称 | 一种电感器件及其制备方法 | ||
| 摘要 | 一种电感器件及其制备方法，属于半导体技术领域。本发明提供的电感器件包括金属线圈、以及通过第一类型半导体掺杂和第二类型半导体掺杂在相邻区域之间交叉进行而形成的全耗尽层区域，全耗尽层区域形成于半导体衬底中并位于所述金属线圈的正下方。该发明的电感器件相比传统技术，能提高电感器件的电感品质因子Q；同时，其全耗尽层区域采用掺杂的方法实现，制备方法简单，不增加电感器件的工艺成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101533839A | 申请公布日期 | 2009.09.16 |
| 申请号 | CN200910049636.4 | 申请日期 | 2009.04.21 |
| 申请人 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 黎坡;张拥华;彭树根 |
| 分类号 | H01L27/04(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L21/8234(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王 洁 |
| 主权项 | 1. 一种电感器件，包括位于互连结构层中的金属线圈，其特征在于，还包括通过第一类型半导体掺杂和第二类型半导体掺杂在相邻区域之间交叉进行而形成的全耗尽层区域，所述全耗尽层区域形成于半导体衬底中并位于所述金属线圈的正下方。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区祖冲之路1399号 | ||