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发明名称
电极引入机构
摘要
一种电极引入机构,系装设于一真空腔设备,该电极引入机构包含有:二导杆,系设于该真空腔设备且相互平行;一支架,具有对应该等导杆数量之贯孔,该等贯孔分别供该等导杆穿设;一电极装置,设于该支架且具有一电极部;一驱动装置,系具有一本体以及一设于该本体之驱动杆;该本体设于该真空腔设备;该驱动杆受该本体驱动且末段设于该支架;该支架受该驱动杆带动而沿该等导杆轴向位移,该电极部受该支架带动而往该真空腔设备内部位移。
申请公布号
TW200939504
申请公布日期
2009.09.16
申请号
TW097108581
申请日期
2008.03.11
申请人
东捷科技股份有限公司
发明人
黄明鸿;叶公旭;杨正安;何建立
分类号
H01L31/18(2006.01);H01L31/0224(2006.01)
主分类号
H01L31/18(2006.01)
代理机构
代理人
刘绪伦
主权项
地址
台南县新市乡南科五路6号3楼
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