发明名称 | 一种精确控制布线间距的装置 | ||
摘要 | 本发明提供了一种精确控制布线间距的装置。该装置可用于微加工技术领域中的布线间距精确控制。该装置包括至少一个活动的平行四边形框架,每个平行四边形框架由两个相对的布线枕和两个连接装置构成的,布线枕上固定有布线梳,将线布于两个相对布线枕的布线梳之间形成平行的布线阵列,然后定量改变平行四边形框架一个顶角的大小,就可以精确控制布线间距。该装置结构简单,容易实现,操作方便,成本低廉,稳固可靠,可以实现布线间距的精确控制,控制精度能达到微米级或亚微米级,为微加工技术领域的布线间距精确控制提供了一种有利的工具。 | ||
申请公布号 | CN100540455C | 申请公布日期 | 2009.09.16 |
申请号 | CN200710092838.8 | 申请日期 | 2007.10.16 |
申请人 | 重庆大学 | 发明人 | 贾月飞;蒋家欢;蔡坤宝;蔡绍皙;宋国立 |
分类号 | B81C5/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C5/00(2006.01)I |
代理机构 | 重庆大学专利中心 | 代理人 | 郭吉安 |
主权项 | 1、一种精确控制布线间距的装置,包括至少一个活动的平行四边形框架,其特征在于:平行四边形框架的一组对边由布线枕甲(1)和布线枕乙(2)构成,另一组对边由两个连接体构成,布线枕甲(1)上固定有布线梳甲(3),布线枕乙(2)上固定有布线梳乙(4)。 | ||
地址 | 400044重庆市沙坪坝区沙坪坝正街174号 |