工件轮廓的非接触式光学量测方法

摘要

一种工件轮廓的非接触式光学量测方法，包括一个架设光源、发散物镜、准直透镜及成像屏幕的光学检测系统架设步骤、一个将标准工件置于光学检测系统中撷取绕射图像并转换成绕射条纹数字数据的比对数据建立步骤、一个将待量测的工件置于该标准工件放置的位置以撷取绕射图像并转换成待测绕射条纹数字数据的量测步骤，及一个计算该待测绕射条纹数字数据与比对绕射条纹数字数据的差异并将差异转换成一轮廓瑕疵影像的数据比对分析步骤，本发明在不需接触工件而不虞产生破坏性接触的状况下，快速且精密的量测得到工件轮廓。

主权项

1. 一种工件轮廓的非接触式光学量测方法，其特征在于，包括：一个光学检测系统架设步骤，将一光源、一发散物镜、一准直透镜，及一成像屏幕间隔地沿一光轴依序设置，使该光源发出的光线经过该发散物镜发散，并继续通过该准直透镜后成平行于该光轴的平行光束至该成像屏幕；一个比对数据建立步骤，将一标准工件置于该光轴上并位于该准直透镜与成像屏幕之间，以该光源发出光线使该平行光束经过该标准工件后，于该成像屏幕上形成一作为量测标准的比对绕射图像，再用电荷耦合元件摄像装置撷取该比对绕射图像，将该比对绕射图像转换成一比对绕射条纹数字数据；一个量测步骤，将一待量测的工件置于该比对数据建立步骤中该标准工件放置的位置，以该光源发出光线使该平行光束经过该待量测的工件后，于该成像屏幕上形成一待测绕射图像，再用电荷耦合元件摄像装置撷取该待测绕射图像，将该待测绕射图像转换成一待测绕射条纹数字数据；及一个数据比对分析步骤，计算该待测绕射条纹数字数据与比对绕射条纹数字数据的差异，并进行将数字数据转换成影像的运算，而将该差异转换成该待量测的工件的一轮廓瑕疵影像。