发明名称
摘要
申请公布号 JP4330467(B2) 申请公布日期 2009.09.16
申请号 JP20040051706 申请日期 2004.02.26
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;H01L21/3065;C23C16/52;H01J37/32;H01L21/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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