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发明名称
摘要
申请公布号
JP4330467(B2)
申请公布日期
2009.09.16
申请号
JP20040051706
申请日期
2004.02.26
申请人
发明人
分类号
C23C16/44;H01L21/3065;C23C16/52;H01J37/32;H01L21/00
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
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