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发明名称 Single-Polarizer Focused-Beam Ellipsometer
摘要
申请公布号 KR100917912(B1) 申请公布日期 2009.09.16
申请号 KR20070115398 申请日期 2007.11.13
申请人 发明人
分类号 G01B11/06;G01B11/00;G01N21/00;G01N21/41 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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