合成石英玻璃工模之处理方法及所得之合成石英玻璃工模以及其使用方法

摘要

本发明的目的系为提供一种合成石英玻璃治具之处理方法及所得之合成石英玻璃治具以及其使用方法，该处理方法系将表面已平滑化之合成石英玻璃治具，以HF溶液将其表层蚀刻30μm以上而去除后，在400℃～1300℃的高温氛围气体下进行处理以去除其所含有之金属杂质的方法，提供经该处理方法所得到的合成石英玻璃治具，以及将该合成石英玻璃治具使用于Si晶圆的热处理等之方法。