半导体晶圆量测装置和方法

摘要

本发明提供一种半导体晶圆量测技术，其包括执行一晶圆之大气浮力补偿称重，其中该晶圆在一大体上直立的条件下进行称重。相较于一水平晶圆定向，一垂直或近乎垂直之晶圆定向会使在一力(重量)感测器方向上的表面积减小。因此，作用在与该晶圆之重力分量相同的方向上之静电力分量亦减小。