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发明名称
METHOD FOR MAKING A THIN FILM ON A SUPPORT
摘要
申请公布号
EP0950257(B1)
申请公布日期
2009.09.16
申请号
EP19970913241
申请日期
1997.11.04
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
发明人
ASPAR, BERNARD;BRUEL, MICHEL;BARGE, THIERRY
分类号
H01L21/20;H01L21/265;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/762;H01L27/12
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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